收集的废气先经过除雾器进行颗粒物去除，使过滤的废气无杂质，然后经过光解光催化设备腔体内分别进行光解和氧化，将大部分废气分解成二氧化碳和水，尚剩余部分分解成中间产物易于吸收和综合，根据其溶解能力的不同，利用不同溶液与混合气体接触，吸收剩余气体，到达标排放。对于低浓度无脂类等废气，也可不采用喷淋填料塔进行处理，这样既避免了后续水处理问题，提高其经济性能。